1500py470 (1500py470) wrote,
1500py470
1500py470

О создании ТС ИС100

Вот отрывок из воспоминаний Лукановых, который возможно проливает свет, на обозночение ТС на наших первых микросхемах. Вот какое напутствие было Николаю Луканову от самого Малина:

– «С твоим дипломом ознакомился, впечатляет, но у нас нет проблемы с диффузией бора, у нас плохо идут процессы диффузии фосфора для коллекторных и эмиттерных областей. Этим и займёшься, но сразу на тестовых структурах изделия ИС100. С Тупицыным согласуешь методику измерения параметров. Диффузию бора можешь делать у Владимир Лементуева – твоего сокурсника. За диффузию фосфора из твёрдого источника отвечает нач. лаборатории Аркадий Самуилович Добкин. Выяснишь слабые места, придёшь ко мне с обоснованиями. Жду через месяц».

Я уже освоился с начальником и выдохнул: «А как же микромощные транзисторы?»

Он добавил: «На этих тестовых структурах (ТС) и будешь проверять работоспособность своих структур, в том числе, и в микроамперном режиме».



Кристалл ТС ИС100 на позолоченной рамке
для измерения ВАХ структур на кристалле помощью W зондов.


да про такие страсти мордасти не знал, советую всем почитать как во время оно всё начиналось. Очень любопытно.

Прошло время интенсивных творческих поисков, и вдруг некоторые из нас почувствовали на своей коже, что мелочей в ТБ нет и не должно быть. Это случилось летом 1965 года при новом начальнике лаборатории Александре Михайловиче Косогове, невольно оказавшемся вовлечённым в разыгравшиеся события. По коридору отдела шли несколько сотрудниц в белых халатах, кто-то из них нёс кварцевую колбу с плоским дном. В колбу, объёмом не менее литра, был залит жидкий диффузант PCl3, предназначенный для производственного участка. Вдруг все остановились и стали рассматривать колбу на просвет. Моя сестра Анна стала громко звать меня, с тревогой в голосе, говоря о каких-то выделяющихся пузырьках. Я быстро подбежал, поднял колбу к глазам, а она взяла и взорвалась у меня в руках. Клубы белого дыма заполнили весь коридор, видимость была почти нулевая, я направился вниз по лестнице к воде, кругом слышались встревоженные возгласы и недоуменные вопросы нового начальника. Потом последовала команда открыть все окна и покинуть помещения. Мне повезло, что дно было плоским – его выбило первым, как наиболее слабое звено, – в первые мгновения пробка, на моё счастье, выдержала давление, – пары и жидкость обожгли мне только ноги. Сестра Анна не растерялась, догнала меня и помогла смывать кислоту. Потом оказалось, что при заливке PCl3 в колбу с потолка вытяжного шкафа упал маленький кусочек твёрдой краски. После этого уже все заговорили о ТБ и заливать диффузант стали в специальном малом боксе в инертной атмосфере.

Позже весной 1966 года, работая уже в НИИМЭ, я узнал как погиб в Англии талантливый начальник лаборатории нашего института В.А. Стружинский – специалист по ионному легированию, трудолюбивый и внимательный человек. Он погиб от взрыва ампул с жидкими источниками диффузанта BBr3 в процессе смывания с них зарубежных этикеток. Погиб по причине нарушения элементарных правил ТБ. Он то уж точно, знал о взрыве PCl3 в отделе у Б.В. Малина. Остался открытым вопрос: “Зачем они к оборудованию закупили ещё и ампулы с BBr3?” Процессы диффузии бора с этим реагентом были уже внедрены у А.Ф. Трутко ещё летом в 1965 году, а в конце 1965 г. они уже применялись и при выпуске изделия «Плоскость» на предприятии «Компонент» в г. Зеленограде.

Статья целиком, правда в сокращённом виде. Нужно будет попробовать полной версией разжится.


Tags: hardware history, semiconductors, Москва, Первочипы, СБИС БИС ИС
Subscribe

Posts from This Journal “Первочипы” Tag

  • На радость Клапауцию

    Хочется поздравить Клапауция с его ДР, и пожелать больше находок и времени для сайтика имени 155ЛА3! Ну и здоровья, и средств, чтоб этим делом можно…

  • Андрон звездочёт

    И как соблюсти воистину православную традицию 25 октября смотреть до полуночи на звёзды и думать о погоде на следующий год? В Москве сплошь серое…

  • Первочипы в СССР.

    «Интегральные схемы, выпускаемые нашей отраслью, по внешнему виду не уступают иностранным, а если и уступают, то не на много». Сергей…

  • На радость Клапауцию

    Вот образчик очень раней серии ТТЛ микросхем, эпохи до исторического материализма. Или это баян?! На фото можно кликать, снималось сквозь стекло с…

  • И ещё раз к вопросу о 137, 138, 100, 500 и 700 серии

    Сегодня 18 мая Международный день музеев, хочется выразить надежду в этот красный день календаря, что в музее Микрона осталось хоть по одной штучке…

  • И о системах на пластине с Мегачипами.

    Trilogy Systems Corporation основанная Джином Амдалом начала работу над своим Суперчипом в 1980. Они назвали его ACSYS, а имя компании дали три…

  • F-14 “Tomcat” Microprocessor Chip Set

    23 декабря 1914 года император Николай II утвердил решение о создании эскадры воздушных кораблей «Илья Муромец» – первого в мире соединения тяжелых…

  • К вопросу о первочипах.

    После поста – ПЕРВОЧИП - Месячник КРЕЯ и КРАСНОГО КРЕЯ (Электроника СС БИС) – 8, возникло очень бурное обсуждение, где он появился, и в частности…

  • Они были первыми

    можно кликнуть Большинство людей думают, что первый МП выглядел так на самом деле тот о котором думают выглядел даже не так, как самые…

  • Post a new comment

    Error

    default userpic

    Your reply will be screened

    Your IP address will be recorded 

    When you submit the form an invisible reCAPTCHA check will be performed.
    You must follow the Privacy Policy and Google Terms of use.
  • 21 comments