May 10th, 2017

RETRO

О создании ТС ИС100

Вот отрывок из воспоминаний Лукановых, который возможно проливает свет, на обозночение ТС на наших первых микросхемах. Вот какое напутствие было Николаю Луканову от самого Малина:

– «С твоим дипломом ознакомился, впечатляет, но у нас нет проблемы с диффузией бора, у нас плохо идут процессы диффузии фосфора для коллекторных и эмиттерных областей. Этим и займёшься, но сразу на тестовых структурах изделия ИС100. С Тупицыным согласуешь методику измерения параметров. Диффузию бора можешь делать у Владимир Лементуева – твоего сокурсника. За диффузию фосфора из твёрдого источника отвечает нач. лаборатории Аркадий Самуилович Добкин. Выяснишь слабые места, придёшь ко мне с обоснованиями. Жду через месяц».

Я уже освоился с начальником и выдохнул: «А как же микромощные транзисторы?»

Он добавил: «На этих тестовых структурах (ТС) и будешь проверять работоспособность своих структур, в том числе, и в микроамперном режиме».



Кристалл ТС ИС100 на позолоченной рамке
для измерения ВАХ структур на кристалле помощью W зондов.


Collapse )