1500py470 (1500py470) wrote,
1500py470
1500py470

О создании ТС ИС100

Вот отрывок из воспоминаний Лукановых, который возможно проливает свет, на обозночение ТС на наших первых микросхемах. Вот какое напутствие было Николаю Луканову от самого Малина:

– «С твоим дипломом ознакомился, впечатляет, но у нас нет проблемы с диффузией бора, у нас плохо идут процессы диффузии фосфора для коллекторных и эмиттерных областей. Этим и займёшься, но сразу на тестовых структурах изделия ИС100. С Тупицыным согласуешь методику измерения параметров. Диффузию бора можешь делать у Владимир Лементуева – твоего сокурсника. За диффузию фосфора из твёрдого источника отвечает нач. лаборатории Аркадий Самуилович Добкин. Выяснишь слабые места, придёшь ко мне с обоснованиями. Жду через месяц».

Я уже освоился с начальником и выдохнул: «А как же микромощные транзисторы?»

Он добавил: «На этих тестовых структурах (ТС) и будешь проверять работоспособность своих структур, в том числе, и в микроамперном режиме».



Кристалл ТС ИС100 на позолоченной рамке
для измерения ВАХ структур на кристалле помощью W зондов.


да про такие страсти мордасти не знал, советую всем почитать как во время оно всё начиналось. Очень любопытно.

Прошло время интенсивных творческих поисков, и вдруг некоторые из нас почувствовали на своей коже, что мелочей в ТБ нет и не должно быть. Это случилось летом 1965 года при новом начальнике лаборатории Александре Михайловиче Косогове, невольно оказавшемся вовлечённым в разыгравшиеся события. По коридору отдела шли несколько сотрудниц в белых халатах, кто-то из них нёс кварцевую колбу с плоским дном. В колбу, объёмом не менее литра, был залит жидкий диффузант PCl3, предназначенный для производственного участка. Вдруг все остановились и стали рассматривать колбу на просвет. Моя сестра Анна стала громко звать меня, с тревогой в голосе, говоря о каких-то выделяющихся пузырьках. Я быстро подбежал, поднял колбу к глазам, а она взяла и взорвалась у меня в руках. Клубы белого дыма заполнили весь коридор, видимость была почти нулевая, я направился вниз по лестнице к воде, кругом слышались встревоженные возгласы и недоуменные вопросы нового начальника. Потом последовала команда открыть все окна и покинуть помещения. Мне повезло, что дно было плоским – его выбило первым, как наиболее слабое звено, – в первые мгновения пробка, на моё счастье, выдержала давление, – пары и жидкость обожгли мне только ноги. Сестра Анна не растерялась, догнала меня и помогла смывать кислоту. Потом оказалось, что при заливке PCl3 в колбу с потолка вытяжного шкафа упал маленький кусочек твёрдой краски. После этого уже все заговорили о ТБ и заливать диффузант стали в специальном малом боксе в инертной атмосфере.

Позже весной 1966 года, работая уже в НИИМЭ, я узнал как погиб в Англии талантливый начальник лаборатории нашего института В.А. Стружинский – специалист по ионному легированию, трудолюбивый и внимательный человек. Он погиб от взрыва ампул с жидкими источниками диффузанта BBr3 в процессе смывания с них зарубежных этикеток. Погиб по причине нарушения элементарных правил ТБ. Он то уж точно, знал о взрыве PCl3 в отделе у Б.В. Малина. Остался открытым вопрос: “Зачем они к оборудованию закупили ещё и ампулы с BBr3?” Процессы диффузии бора с этим реагентом были уже внедрены у А.Ф. Трутко ещё летом в 1965 году, а в конце 1965 г. они уже применялись и при выпуске изделия «Плоскость» на предприятии «Компонент» в г. Зеленограде.

Статья целиком, правда в сокращённом виде. Нужно будет попробовать полной версией разжится.


Tags: hardware history, semiconductors, Москва, Первочипы, СБИС БИС ИС
Subscribe

Posts from This Journal “Первочипы” Tag

  • Зонд-7 и его БЦВМ

    После неудачи «Зонда-6» при возвращении на Землю и неудавшейся попытки опередить американский «Аполлон-11» с возвратом…

  • О использовании К155ЛА3 вместо К155ЛА8

    Некто с ником Разумный мир поделился тем, как использовал ЛА3 для управления нагрузкой запитанной от +18-20 Вольт, когда у него ЛА8 закончились. У…

  • 45 лет i8080, 40 лет i80C85 и 30 лет 80486

    В знаменательный день 1 апреля 1974 компания INTEL явила миру легендарный i8080. Она не случайно выбрала эту дату, потому как и их i8008 увидел свет…

  • (к)1520ХМ6 это И400 или И400Б?

    юбилейный месячник КРЕЯ и КРАСНОГО КРЕЯ (Электроника СС БИС) часть x'54 О И400... трам-пам-пам Эх, жаль заела текучка Клапауция, но всё…

  • Что мы (достоверно?) знаем о СС БИС 3?

    юбилейный месячник КРЕЯ и КРАСНОГО КРЕЯ (Электроника СС БИС) часть x'53 СС БИС 3 О электроника СС БИС 3 мы достоверно знаем на сегодняшний…

  • Устройство Запоминающее Внешней Полупроводниковой Памяти

    юбилейный месячник КРЕЯ и КРАСНОГО КРЕЯ (Электроника СС БИС) часть x'58 О массовой памяти в СС БИС 30 ноября, когда все люди доброй воли…

  • Ещё раз к вопросу о 100, 500 и 700 серии

    В День российского проектировщика, ещё раз хочется вернуться к вопросу о 100, 500 и 700 серии, в плане её появления на свет, и доступности оной для…

  • О конструктивной базе БЭСМ-10

    Хвала Аллаху, милостивому и милосердному, нынче все люди доброй воли и примкнувшие к ним Клапауции (ну если они в данный момент времени с грибами…

  • 60 лет волосатой технологии

    Вот уже 60 лет пролетело, как Джек Сент-Клер Килби выпустил в свет свою первую микросхему 12 сентября 1958 года. Позже эту технологию стали обзывать…

  • Post a new comment

    Error

    default userpic

    Your reply will be screened

    Your IP address will be recorded 

    When you submit the form an invisible reCAPTCHA check will be performed.
    You must follow the Privacy Policy and Google Terms of use.
  • 21 comments